多伦多大学购买牛津仪器新一代MEMS等离子体刻蚀系统
2012年7月3日

 

经过严格的选拔,牛津仪器等离子部凭借领先的等离子体刻蚀和沉积处理技术,赢得了多伦多大学的采购订单——最新推出的PlasmaPro Estrelas100深硅蚀刻系统。该设备是为通信技术研究所(ECTI)在大学的微纳米加工中心购买的,用于学术研究及培训等方面。

PlasmaPro Estrelas10深硅蚀刻技术为工业提供了领先的工艺,保持与研发市场协调发展,该系统的灵活性达到最大限度。微纳米结构作为硬件技术与Bosch™,还有低温蚀刻技术可在同一腔体内运行。

从光滑侧壁刻蚀到高速率的刻蚀工艺,PlasmaPro Estrelas10的设计保证了MEMS的应用泛围广,无需改变腔内硬件。

ECTI的Yu Sun教授评价, MEMS和NEMS的先进设备让ECTI更积极地开展跨学科研究,加拿大创新基金会为化学和生物微流体系统中心资助DRIE等多种重要设备,我们选择了牛津仪器的PlasmaPro Estrelas100,因为牛津仪器具有卓越的质量、功能和系统支持。

该PlasmaPro Estrelas100将用于与战略伙伴的合作研究,重点研究领域包括纳米技术和纳米材料制备,光子材料与器件,微纳米机电系统(M/NEMS),生物技术,微纳米电子器件,集成光学,光电器件。

牛津仪器等离子体技术销售及市场总监Mark Vosloo说道,牛津仪器将继续提供适合现有的和新兴的MEMS市场的技术。结合清晰的程序和应用,我们的技术对今天和将来都具有影响,在MEMS的研发方面,我们拥有超过20年的经验,更了解广大客户的需求,提供最具创新的设备

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