牛津仪器打入欧洲LED制造业
2011年3月25日

随着对LED需求的增加,牛津仪器等离子技术在高亮度LED制造业发挥着越来越重要的地位。位于德国Landshut 市的Optogan集团,作为LED制造业的领先者已向牛津仪器订购多套刻蚀及沉积的复合设备,包括PlasmaProTM System133 ICP 和 PlasmaPro 800Plus RIE etch systems, 还有PlasmaPro 800Plus deposition system。

该PlasmaPro System133可以处理高达27 x 2" 的氮化镓蓝宝石晶片并具有大规模批处理能力,同时PlasmaPro 800Plus具有最大的灵活性来处理43 x 2" 晶片上进行等离子体刻蚀和沉积的问题,采用紧凑型、开放式样品加载系统。

为了全球性的应用(包括固态照明), Optogan集团正在开发和生产高亮度LED,并采购上述设备,安装在位于Landshut 市高产量的生产线上。