研讨会主题——使用创新等离子加工技术蚀刻图形蓝宝石衬底(PSS)

举办时间:2015年6月4日 午 15:00-16:00

研讨会简介:

        LED行业对提高经营成本的积极性推动了牛津仪器的离子技术创新。经过优化的离子体工序为提高器件产量和降低制造成本提供许多途径,达到一石二鸟的效果。LED制造商需要关键的离子体蚀刻步骤(图案化蓝宝石衬底(PSS)和GaN刻蚀)和沉积步骤进行钝化,电流阻挡以及掩模制作。这些都是通过各种技术,例如等离子体增强化学沉积(PECVD)来进行。本次研讨会阐述了通过提高加工率以及同时增加处理晶片的数量的方法,以提高这些工序的生产效率。

研讨会议程:

          1. 5分钟介绍 - OFweek主持人;
          2. 演讲1: 20分钟 – Dr Mark Dineen《使用创新量子加工技术蚀刻图形蓝宝石衬底(PSS)》(英文版本);
          3. 演讲2:20分钟 – Dr Young Huang《使用创新量子加工技术蚀刻图形蓝宝石衬底(PSS)》(中文版本);
          4. 问答环节 - 20分钟。

 

报告人介绍:

Mark Dineen博士,产品经理(光电)  

专家简介:Mark Dineen博士在卡迪夫大学研究氮化镓的等离子体刻蚀并取得博士学位。他自2000年起加入牛津仪器,以III-V族材料为始,其后专注于氮化镓,蓝宝石和HBLED相关材料的蚀刻工作。他在光电子器件制造领域拥有丰富的经验。

Young Huang博士,现场和实验室应用经理

专家简介:Young Huang博士在国立清华大学研究光电技术并取得博士学位。他于2011年起加入牛津仪器从事台湾地区的海外市场营销。黃博士在LED芯片和光学电子化工序领域拥有超过10年的经验。作为现场和实验室应用经理,他负责开发新的应用供需,确保现场客户在应用中获得满意的体验。

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